HOLON/ 光罩用微距掃描式電子顯微鏡 EMU 270 /EMU 270A
商品型號: 09
HOLON發展WIND-SEM方式，有效控制光罩上的電荷累積，利用掃描電子束，掃過光罩表面所產生的二次電子，依此訊號分析光罩上面微細線寬圖形，並加以量測光罩上之微小線距，適用於65/45/32/28nm等 之先進製程光罩
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