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HOLON/ 光罩用微距掃描式電子顯微鏡 EMU 270 /EMU 270A

商品型號: 09

HOLON發展WIND-SEM方式,有效控制光罩上的電荷累積,利用掃描電子束,掃過光罩表面所產生的二次電子,依此訊號分析光罩上面微細線寬圖形,並加以量測光罩上之微小線距,適用於65/45/32/28nm等 之先進製程光罩




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