Process Tools & Unit

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01
APPRECIA/ 磷酸控溫系統&再利用系統
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33
APPRECIA/ PSYRION(磷酸再生系統)
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06
IMAI/ 洗淨機
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07
IMAI/ 洗淨熱烤爐
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05
ORION/ 溫濕度控制器
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37
SASAKURA/ 超潔淨電解式臭氧水(氫氣水)產生器
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03
USHIO/ 晶圓週邊曝光機
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04
USHIO/ 步進機
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