型號： TAZMO

    TAZMO- 磷酸之控溫、再生系統、Single wafer Cleaner

    產品功能
    熱磷酸蝕刻控制系統(NISON)
    • 透過往磷酸循環管路注入DIW的方式, 進行最合適的沸騰控制
    • 在磷酸製程領域中的實績廣為人知，全世界共有800台以上使用實績

    磷酸再生系統(PSYRION)

    • 去除磷酸中之矽化合物，增加磷酸之使用壽命
    • 因減少新磷酸使用，可降低使用成本
    • 可幫助碳中和，能降低環境污染
    數量
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