CAT-SPIN DRYER

產品功能

水平式spin dryer，利用離心力旋乾wafer

特點

• 4~12吋wafer可旋乾對應
• 1~4個cassette皆可對應
• Auto balance功能--可同時旋乾不同片數wafer
• 可同時旋乾不同尺寸wafer