TAZMO- リン酸温度制御、再生システム、Single wafer Cleaner

製品機能

• DIW（純水）をリン酸循環ラインに注入する方式により、最適な沸騰制御を行います。
• リン酸プロセス分野における実績は広く知られており、世界中で800台以上の導入実績があります。

• リン酸中のシリコン化合物を除去し、リン酸の使用寿命を延長します。
• 新しいリン酸の使用量を削減することで、使用コストを低減できます。
• カーボンニュートラルに貢献し、環境汚染の低減に寄与します。