TEMIC- MCZ( Superconducting Magnet)

製品機能

超電導磁石により磁場を生成し、半導体ウェハーの引き上げ工程において高品質な単結晶シリコンを製造できるようにし、結晶シリコンの品質を向上させます。
サドル型コイルを採用することで広範囲の水平磁場を効率的に生成し、装置の小型化・軽量化および漏洩磁場の低減を実現しています。