产品功能

可应用于设备端及厂务端

1. 精准控制各chamber之排气量
2. 防止因压力变动使製造过程晃动,并可减少扰流,及减少particle 产生
3. Cost down for Exhaust &减低设备内风扇损耗,节省CDA 用量, 节省电力消耗