ACE- Auto Damper

製品機能

装置側および施設（ユーティリティ）側の両方に適用可能

1. 各チャンバーにおける排気量の高精度な制御
2. 圧力変動によるプロセスへの影響（振れ）を防止し、気流の乱れやパーティクルの発生を抑制
3. 排気コストの削減、装置内ファン負荷の低減、CDAおよび電力消費量の節約