型号： TAZMO

    TAZMO- 磷酸之控温、再生系统、Single wafer Cleaner

    产品功能
    热磷酸蚀刻控制系统(NISON)
    • 透过往磷酸循环管路注入DIW的方式, 进行最合适的沸腾控制
    • 在磷酸製程领域中的实绩广为人知，全世界共有800台以上使用实绩

    磷酸再生系统(PSYRION)

    • 去除磷酸中之硅化合物，增加磷酸之使用寿命
    • 因减少新磷酸使用，可降低使用成本
    • 可帮助碳中和，能降低环境汙染
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