VPTek

STORM 3000はVPTekの第3世代ICマスク欠陥検査装置です。長年にわたる試験と改良の積み重ねにより、業界をリードするお客様からの認可を獲得しております。

STORM 3000は先進的なレーザーイメージング技術と高感度ソフトウェアアルゴリズムを基盤として、DB、DD、SLなどの検査モードに対応しています。Mask ShopやFABのマスク製造プロセス、出荷時、定期検査にも適用可能です。特に180/130nmプロセスにおいて、高精度、高効率及び操作簡単の特長を備えています。

特長

• UVレーザーをベースとした超高解像度光学システム
• 反射光、透過光の同時検査に対応
• DD、SL、およびDB検査モードに対応
• SMIF Pod、Nikon CASE、Canon CASE、　Shipping Boxなど各種フィルムケースに対応
• GDS、OASIS、MEBESファイルフォーマットに対応
• BinaryマスクおよびPSMマスクに対応
• OPCキャリブレーションに対応
• GPU分散コンピューティングに対応

STORM 3000Uは VPTekが実績のあるSTORM 3000プラットフォームアーキテクチャをベースに、光学イメージング、搬送、およびキャッシュ機能を最適化することで、操作性向上と装置コスト低減を実現しました。Mask Blank基板の製造、出荷、およびMask shop受入検査に対応し、200nmの検査精度を対象に、操作性の高さ、高効率、低コストとの優位性を備えています。

特長

• レーザーベースの超高解像度光学システム
• SMIF Podの自動ロード／アンロードに対応
• パーティクル、スクラッチ、ピンホール、および異物検査に対応
• 自動レビューと欠陥分類に対応
• 研磨板、クロムメッキ板、接着後検査に対応
• 基板の自動グレーディングおよびキャッシングに対応
• GPU分散コンピューティングに対応

IRIS 530 は VPTek がIC Mask向けに開発した両面パーティクル検査装置です。このシステムは、2組の光学系統と明視野・暗視野照明モードを採用しており、Pellicle面およびGlass面のパーティクルや異物を同時に検出できます。マスク工場の出荷検査やFAB工場のモニタリングに適しています。

特長

• ガラス表面およびペリクル表面のパーティクルを同時検出可能
• RSP200 Nikon Case、Crystal Boxの開封、および自動上下プレートに対応
• 明視野と暗視野に基づく検査方式
• ペリクル表面、ガラス表面、膜フレームの内側と外側の検査エリアを設定可能
• 欠陥位置とパターン位置の関係を可視化表示
• エアバスナイフを搭載し、表面のパーティクルを除去

Tornado 2000は VPTekが開発したサブミクロン級精度対応のウェーハ全自動光学検査装置です。デュアル光路光学イメージングシステムと多様な照明方式を採用し、さまざまな材質における光学イメージングに対応します。D2D、D2G、C2C、D2DB、AIなどの検査モードで、大型DIEや非アレイ配置ウェーハの欠陥検査にも適用可能です。

「Tornado 2000」は、ハードウェアおよびソフトウェア構成により、前工程も後工程のプロセスの欠陥検出に対応できます。

さらに、操作性の高さ、高効率、低コストとの優位性を備えています。

適用シナリオ

4、6、8インチウェーハの前工程・中工程・後工程、および先進パッケージング工程に表面の2D、3D欠陥検査。

特長

• 4、6、8インチウェハーへ同時に対応
• デュアルポート循環式ロード／アンロード機構により、オペレーターの待ち時間を短縮
• 明視野及び暗視野照明に対応し、微細な欠陥の 検出性能を向上
• ハードウェア、ソフトウェア、フィッティング による複数のオートフォーカスモードに対応し、大きく反ったウェハーの検査精度を確保
• 複数ROIおよびレイヤーによるパーティション検査に対応
• D2D、D2G、D2DB検査アルゴリズムに対応
• AIによる欠陥検査および分類に対応
• 顧客MESシステムとのデータ連携対応

Tornado 2100 は VPTekが開発したウェーハ向け完全自動光学式CDおよびOVERLAP測定システムです。高解像度の光学イメージングシステムをベースに、パターンコントラストをさらに向上させ、遷移ピクセルを低減しています。高性能移動ステージを採用することで、測定プロセスの位置決め効率を向上させ、定常時の振動を低減し、測定再現性要件を満たしています。

適用シナリオ

4、6、8インチウェハーの前工程におけるCDおよびOVERLAP精度の測定。

特長

• 4、6、8インチウェハーへ同時に対応
• レシピベースの自動測定に対応
• 白色光、RGB、UVを含む複数波長照明および光学システムに対応
• グレースケールしきい値、グレースケール変化率法、ラインフィッティング法など複数の線幅測定方式に対応
• マルチホールド非線形補正機能
• 低コントラスト条件での線幅測定に対応

Tornado 3000 は VPTekが 8および12インチウェハーに対応したサブミクロン精度の全自動光学検査装置です。実績のあるTornado 2000のアーキテクチャをベースに、光学システムをさらにアップグレードすることで画像解像度を継続的に向上させ、より厳しいプロセス要求に対応しています。

適用シナリオ

8および12インチウェハーの前工程、中工程、ならびに先端パッケージング工程に2Dおよび3D欠陥検査に対応。

特長

• 8インチSMIF、12インチFOUP、およびオープンカセットなどの供給方式に対応
• デュアルライトパスアレイとエリアアレイイメージングシステムによる高速スキャン可能
• UVベースの光学システムにより、微細な欠陥をより高精度に検出可能
• ハードウェア、ソフトウェア、フィッティングによる複数のオートフォーカスモードに対応し、大きく反ったウェハーの検査精度を確保
• 複数ROIおよびレイヤーによるパーティション検査に対応
• D2D、D2G、D2DB検査アルゴリズムに対応
• AIによる欠陥検査および分類に対応
• 顧客MESシステムとのデータ連携対応