产品功能

MFC功能为针对气体管路中的流量进行控制,且可广泛应用于各种特殊或一般气体。

MC-700 series

• 搭配旋钮式VR值调整,提升了更多使用弹性
• 藉此协助客户减少备品数量
• 搭载低温差sensor,具有优良life time
• 搭载DIGITAL INTERFACE RS485、RS232 & ANALOG通讯

MC-3000L series

• 实现±1% S.P. 的高精度
• 採用Au材质之seal,具有极佳密封性
• 各种气体&流量皆可对应
• 搭载DIGITAL INTERFACE RS485、RS232 &ANALOG通讯

Vaporizer unit/液态气化器

独家气化技术,使液体完全分子化后更均匀的进入chamber,大幅降低chemical凝结于管壁之可能。

• 採用PIEZO阀件
• 可对应常压、减压製程
• 可对应最高温至摄氏300°C