LINTEC-MFC(Mass Flow Controller)、LMFC、MFM、VU、LVC

製品機能

MFC（メカニカルコントロール機能）は、ガス配管内の流量を制御し、各種特殊ガスおよび一般ガスに幅広く適用可能です。

MC-700シリーズ

• 回転式VR（真空温度）調整機能を搭載し、操作の柔軟性が向上しています。
• スペアパーツの必要量を削減できます。
• 低温差センサーを搭載し、長寿命を実現しています。
• デジタルインターフェース（RS485、RS232）およびアナログ通信に対応しています。

MC-3000Lシリーズ

• ±1% S.P.の高精度を実現しています。
• 金製シール材を使用し、優れたシール性能を発揮します。
• 様々なガス種および流量に対応しています。
• デジタルインターフェース（RS485、RS232）およびアナログ通信に対応しています。

気化器ユニット

液体気化器：独自の気化技術により、液体がチャンバーに入る前に完全に分子化され、より均一に供給されるため、配管壁への化学凝縮の可能性が大幅に低減されます。

• ピエゾバルブを採用
• 大気圧および減圧プロセスの両方に対応
• 最高300℃までの温度に対応