產品功能

可應用於設備端及廠務端

1. 精準控制各chamber之排氣量
2. 防止因壓力變動使製造過程晃動,並可減少擾流,及減少particle 產生
3. Cost down for Exhaust &減低設備內風扇損耗,節省CDA 用量, 節省電力消耗