ESG時代最佳洗淨⽅案: 超⾳波+微⽶氣泡
綠色洗淨 煥然一新
先透過超音波多頻段去除大型髒污,然後以比毛孔還小的微米氣泡執行更細緻的洗淨,有效降低雜質滯留風險。
隨後導入純水洗淨槽,做最後一道洗淨,實現高潔淨度標準。最終配置乾燥模組,可根據產品特性選用加熱氮氣、紅外線照射或其他無塵乾燥方式,確保製程後無水痕、無污染,達到最優的清洗品質。
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- 超音波非接觸的特性特別適用於具複雜結構的元件
- 本公司微米氣泡技術經半導體大廠實測洗淨晶圓盒及PFA管,成效斐然
- 全球ESG意識抬頭,超音波配合微氣泡清洗可減少使用化學藥液以及水資源的浪費
先透過超音波多頻段去除大型髒污,然後以比毛孔還小的微米氣泡執行更細緻的洗淨,有效降低雜質滯留風險。
隨後導入純水洗淨槽,做最後一道洗淨,實現高潔淨度標準。最終配置乾燥模組,可根據產品特性選用加熱氮氣、紅外線照射或其他無塵乾燥方式,確保製程後無水痕、無污染,達到最優的清洗品質。

高濃度微米氣泡技術
日本為全世界公認微氣泡洗淨技術最成熟國家,擁有40年以上日本企業合作經驗的霖豐,已與相關企業合作,研發出適用於半導體等高規格洗淨需求的微氣泡洗淨技術!
能製造出超越業界標準之高密度微氣泡水。並且結合獨門技術,再依需求客製化,達到兼具高洗淨力以及精巧外觀之目標。
日本為全世界公認微氣泡洗淨技術最成熟國家,擁有40年以上日本企業合作經驗的霖豐,已與相關企業合作,研發出適用於半導體等高規格洗淨需求的微氣泡洗淨技術!
能製造出超越業界標準之高密度微氣泡水。並且結合獨門技術,再依需求客製化,達到兼具高洗淨力以及精巧外觀之目標。

- 設備參考設計圖目前推估可縮小至20 吋旅行箱的大小
-
業界一般微氣泡產出濃度約落1000- 2000 pcs/ml,但霖豐的設備產出的微氣泡濃度是其兩倍!

奈米氣泡技術優勢
霖豐能透過獨門技術,製造出比微米氣泡更小的奈米級氣泡。其特性除了可以處理更微小的微粒以外,也能同時具備去除油污以及殺菌的功效。
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霖豐能透過獨門技術,製造出比微米氣泡更小的奈米級氣泡。其特性除了可以處理更微小的微粒以外,也能同時具備去除油污以及殺菌的功效。

依據分子動力學, 在直徑僅數奈米的氣泡中,氣液介面會產生有序的電性極性排列(+/-)
靜電效果可促成脂質分解以及殺菌。
根據公式Δp = 2σ / d, 直徑 d = 100nm 時,水中的氣泡內部壓力差可達約30atm(大氣壓),若水中有表面張力,氣泡內壓力也會升高。
效果:

超音波 × 微氣泡 洗淨的五大優勢
1 雙管齊下,對症下藥
超音波透過空蝕產生微爆破,針對粒徑小於 1μm的污染物極為有效。微氣泡在崩裂時產生微流與剪切力,可將殘附在材料細縫中的污染物推擠出來。
* 兩者聯合作用,可同時處理不同附著狀態與大小的汙染源,效率遠高於單一技術。
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1 雙管齊下,對症下藥
超音波透過空蝕產生微爆破,針對粒徑小於 1μm的污染物極為有效。微氣泡在崩裂時產生微流與剪切力,可將殘附在材料細縫中的污染物推擠出來。
* 兩者聯合作用,可同時處理不同附著狀態與大小的汙染源,效率遠高於單一技術。

3 強化對複雜、微細結構的清洗能力
超音波可穿透液體深入死角與微孔。
微氣泡則可貼附於材表或孔內壁,在氣泡崩解時
產生局部清潔力。
* 特別適用於細長流道、窄縫等難清洗部件。
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5 提昇終端潔淨度與良率
超音波可有效瓦解殘留界面張力,使最終純水漂洗與乾燥效果更佳。微氣泡可攜帶粒子上浮、減少再附著機率。
* 結果為:殘留粒子減少、製程良率提升、後段製程風險降低
超音波可穿透液體深入死角與微孔。
微氣泡則可貼附於材表或孔內壁,在氣泡崩解時
產生局部清潔力。
* 特別適用於細長流道、窄縫等難清洗部件。

5 提昇終端潔淨度與良率
超音波可有效瓦解殘留界面張力,使最終純水漂洗與乾燥效果更佳。微氣泡可攜帶粒子上浮、減少再附著機率。
* 結果為:殘留粒子減少、製程良率提升、後段製程風險降低

2 降低化學藥劑依賴,實現環保洗淨
超音波與微氣泡皆為物理洗淨技術,結合使用可顯著降低酸鹼、溶劑等化學品的使用比例,甚至在某些條件下實現純水清洗。* 有助達成 節能減碳、減廢、ESG合規。

4 減少表面損傷,提升材料兼容性
先以超音波高效剝離主體汙染物後,後段再導入微氣泡水進行溫和精緻清洗。
微氣泡具備貼附與剝離特性,可在不造成額外衝擊的前提下,進一步去除殘留微粒與界面汙染。
*此「強 → 弱」雙段洗淨策略,特別適用於光罩、陶瓷、半導體元件等表面敏感材料,可在保護材料的同時達到高潔淨目標。
