產品功能

MFC功能為針對氣體管路中的流量進行控制,且可廣泛應用於各種特殊或一般氣體。

MC-700 series

• 搭配旋鈕式VR值調整,提升了更多使用彈性
• 藉此協助客戶減少備品數量
• 搭載低溫差sensor,具有優良life time
• 搭載DIGITAL INTERFACE RS485、RS232 & ANALOG通訊

MC-3000L series

• 實現±1% S.P. 的高精度
• 採用Au材質之seal,具有極佳密封性
• 各種氣體&流量皆可對應
• 搭載DIGITAL INTERFACE RS485、RS232 &ANALOG通訊

Vaporizer unit/液態氣化器

獨家氣化技術,使液體完全分子化後更均勻的進入chamber,大幅降低chemical凝結於管壁之可能。

• 採用PIEZO閥件
• 可對應常壓、減壓製程
• 可對應最高溫至攝氏300°C