
近年來,全球對化學品的管制越來越嚴格。其中全氟/多氟烷基物質(PFAS)因為難以在自然環境中分解,被稱為「永久性化學物質」,成為世界各國重點管控的成分。對於極度依賴這類材料的高科技製造業與半導體產業來說,帶來必須盡快尋找替代材料,以及升級廢水處理設備的雙重壓力。
〈延伸閱讀:配管工程是什麼?掌握施工重點,找到專業的配管工程廠商!〉
什麼是PFAS?對人類有什麼危害?
PFAS是上萬種人造化學物質的統稱,分子結構包含極強的碳氟鍵,具備優異的防水、防油與抗熱特性,化學性質也十分穩定。正因為不容易分解,PFAS會長久存留在環境中,成為持久性的有機汙染物。
從日常生活到半導體產業了解PFAS的應用
在日常生活中,PFAS常見於不沾鍋塗層、防水防油外套、油墨印刷的食品包裝紙,以及消防用的泡沫噴劑之中,帶來許多方便與實用的功能性。在高科技領域,特別是半導體產業,PFAS更是重要材料之一,廣泛應用於蝕刻氣體、光阻溶劑、清洗劑等製程,原料對耐化學性與高熱穩定性需求極高,因此在製程中都難以被完全取代。
PFAS危害有哪些?
人類主要是透過飲用受污染的水、食用受污染的農產品或魚類,以及接觸含有PFAS的消費品來攝入這些化學物質。這類物質具有生物累積性,會在人體內不斷累積,屬於對健康有害的「環境荷爾蒙」。醫學研究指出,長期接觸PFAS會干擾內分泌系統、導致免疫系統變弱、膽固醇升高、影響胎兒發育,甚至增加罹患腎臟癌與睪丸癌的風險。
〈延伸閱讀:爐管製程原理是什麼?認識爐管加熱製造與流程,提升產品良率!〉
PFAS國際法規帶給半導體產業的衝擊!
各國對PFAS的管制範圍,已經從一般的消費品擴大到工業製造端,讓半導體產業面臨需要尋找無氟替代材料,還要升級廢水處理系統。
全球PFAS法規新趨勢!
全球法規針對PFAS的標準變得越來越嚴苛,美國環保署(EPA)已在2024年4月發布嚴格標準,規定飲用水中PFOA與PFOS的上限值為4 ppt,更要求相關企業最晚在2027年1月前啟動PFAS申報。同時,歐盟也正在推動限制提案,自2026年起,要求飲用水中20種PFAS總和不得超過100 ppt,且計畫逐步淘汰PFAS。這些政策迫使跨國企業的供應鏈必須提早做準備,如果半導體零組件或製程廢水無法符合當地標準,企業將面臨產品無法出口或遭受重罰的風險。
台灣PFAS 2027最新法規
在台灣,環境部已經將超過350種PFAS相關化合物列為毒性化學物質,針對飲用水與水體排放,環境部修訂了水質標準,規定自2027年7月1日起正式施行,全氟辛酸(PFOA)與全氟辛烷磺酸(PFOS)加總不得超過50ppt(兆分之一),而PFOS與全氟己烷磺酸(PFHxS)加總不得超過70ppt。
如果水質超標且未在期限內改善,將面臨新台幣6萬至60萬元的罰鍰,甚至按日連續處罰,代表國內製造業必須在短期內完成水處理設備的升級。
PFAS在半導體製程中的應用
從晶圓清洗、微影製程到蝕刻與封裝,PFAS存在於多個製程環節中。優異的表面張力控制與耐酸鹼能力,能維持晶圓的高良率,還能延長精密設備的使用壽命,使水體與廢水系統中極容易殘留這類物質。
尋找PFAS替代方案的技術挑戰與困境
雖然法規步步進逼,但在半導體等多種對良率與穩定度要求極高的產業裡,要找到完全不含PFAS、不影響效能的替代材料非常困難。目前許多替代方案在耐熱與機械強度上,仍無法直接取代現有應用。所以如何妥善處理製程中產生的PFAS廢水,成為企業目前最迫切完成的工程。
了解傳統PFAS廢水處理問題,釐清最新的解決方向!
在過去半導體工廠多半依賴傳統的物理或化學方法來處理廢水,但在面對結構極度穩定的PFAS時,經常無法達到理想的去除效果。
〈延伸閱讀:Spin Dryer旋轉乾燥機是什麼?如何影響晶圓良率?選型重點看這篇〉
活性碳吸附與離子交換處理PFAS的局限
目前業界最常使用的是活性碳吸附與離子交換樹脂,雖然能捕捉水中的PFAS,但只是將污染物從水中轉移到固體廢棄物上,並沒有真正破壞碳氟鍵、消滅這些化學物質。後續衍生的大量高濃度廢棄物,處理起來也相當棘手。
PFAS廢水排放標準愈趨嚴格
當2027年台灣的最新水質標準正式上路後,未能及時升級廢水處理設備的企業,一旦超標就會面臨每日連續開罰的風險。如果遲遲無法達標,主管機關甚至有權勒令停產,對產線不能中斷的高科技廠來說,將是難以估計的商業損失。
傳統與新興廢水處理技術比一比
為了解決傳統吸附法處理效率有限、易產生二次污染等缺點,市場上陸續發展出多種新興廢水處理技術。以下整理目前常見的PFAS廢水處理技術比較,幫助企業釐清缺點與優勢,理解為什麼有必要導入更先進、穩定,以及具效益的解決方案。
PFAS廢水處理比較表
| 技術 | 原理 | 優勢 | 局限 |
|---|---|---|---|
| 活性碳吸附/離子交換 | 利用多孔材料或樹脂物理吸附水中的PFAS。 | 技術成熟、初期建置成本較低。 | 無法分解化學物質,會產生大量固體廢棄物,耗材更換成本高,對短鏈PFAS處理效果差。 |
| 逆滲透薄膜(RO) | 利用高壓將廢水通過半透膜,阻擋PFAS分子。 | 可有效去除多種類型的PFAS。 | 會產生高濃度的PFAS濃縮廢水,後續二次處理非常困難且昂貴。 |
| 超音波搭配微米氣泡洗淨 | 結合超音波與微米氣泡,進行雙段式深層物理洗淨。 | 降低化學藥液依賴,減少二次廢液;能無損洗淨複雜結構的含氟耗材,達成材料再生與ESG循環經濟。 | 主要針對「元件與耗材」的源頭洗淨,較難直接替代廠區末端「大流量連續性」的放流水處理系統。 |
(手機版表格可左右滑動)
霖豐PFAS解決方案,帶領企業走向ESG時代!
針對傳統處理方式的不足,霖豐提供的超音波搭配微米氣泡洗淨方案,為半導體元件與含氟耗材的物理洗淨帶來新選擇。這套系統可以先處理較大的污染物,再深入細微結構清除殘留,降低對化學藥劑的依賴,並減少二次廢液的產生。不僅讓高濃度與低濃度的廢水都能獲得穩定處理,更能協助企業無損回收昂貴的耗材,達成材料再生的目標,符合ESG對節能、減廢與永續發展的要求。
〈產品推薦:ESG時代最佳洗淨方案: 超音波+微米氣泡〉
〈延伸閱讀:SDGs、ESG永續發展差在哪?一篇搞懂永續發展目標!〉
PFAS常見Q&A!
Q1.PFAS產品有哪些?
生活中常見的PFAS產品包含防水外套、防油食品紙袋、不沾鍋具與化妝品等日常用品;在工業與高科技領域,則廣泛應用於消防泡沫、半導體光阻劑、冷媒,以及各種全氟橡膠密封件與管線。Q2.PFAS是致癌物嗎?
醫學與科學研究都指出,部分PFAS(如全氟辛酸PFOA)已經被國際健康機構列為可能對人類致癌的物質。長期接觸與攝入,會增加罹患腎臟癌與睪丸癌的風險。
Q3.PFAS是毒化物嗎?
PFAS是毒化物,台灣環境部已經陸續將包含PFOA、PFOS等超過350種PFAS化合物,依規定列為毒性化學物質或關注化學物質,進行嚴格的管制與列管。
Q4.PFAS是鐵氟龍嗎?
鐵氟龍是一種聚四氟乙烯(PTFE)塗層的品牌名稱,屬於PFAS的一種。早期在製造鐵氟龍的過程中曾廣泛使用PFOA,但因為健康疑慮,現今多數大廠生產的鐵氟龍產品已經標榜不含PFOA。
結論
隨著國際與台灣本土對PFAS的法規限制日趨嚴格,尤其是2027年即將上路的新標準,半導體與高科技製造業必須及早應對。建議企業盡快評估廠內現有的廢水處理設備與耗材洗淨流程,導入更有效率又符合環保的解決方案。霖豐多年來秉持專業、誠信和共榮,將每一位客戶視為共同體,也致力推廣ESG方案,一起攜手共創永續經營。如果您想了解如何優化廠內的PFAS處理流程,歡迎隨時與我們聯繫,由霖豐專業團隊為您提供客製化評估。
想了解更多PFAS的知識嗎?點擊下方按鈕,讓霖豐替您解答。

