I C & FPD 用原材料、耗材
ACE- Auto Damper
產品功能
可應用於設備端及廠務端
- 精準控制各chamber之排氣量
- 防止因壓力變動使製造過程晃動,並可減少擾流,及減少particle 產生
- Cost down for Exhaust &減低設備內風扇損耗,節省CDA 用量, 節省電力消耗
AION- PVA、PU、PO Sponge & Wiper
產品功能
可客製化之清洗海綿,一致的毛孔徑能有效吸附髒汙提升清潔力。
共同特性
- 高吸水性-極細微的連續多孔質構造，所以可以發揮極佳的吸水性
- 優質彈性-乾燥時亦保持極佳的柔軟狀態，非常適用於接觸性使用
- 優質耐藥性-對於強酸、強鹼都有極佳的耐藥性，極少脫屑素材-一體構造的設計，避免如不織布及毛氈製品一樣的脫屑狀況
DAICO- Quartz Heater、Quartz part
產品功能:
- 石英玻璃管浸入式加熱器是將加熱器外部包覆石英玻璃管，非常適合用於藥液加熱的加熱設備。
- 在熱交換區域上的流體接觸的所有表面與外管皆由石英製成，不會有汙染問題。
- 可對應不同製程產品，可客製化對應。
LINTEC- MFC(Mass Flow Controller)、LMFC、MFM、VU、LVC
產品功能
MFC功能為針對氣體管路中的流量進行控制,且可廣泛應用於各種特殊或一般氣體。
MC-700 series
- 搭配旋鈕式VR值調整,提升了更多使用彈性
- 藉此協助客戶減少備品數量
- 搭載低溫差sensor,具有優良life time
- 搭載DIGITAL INTERFACE RS485、RS232 & ANALOG通訊
MC-3000L series
- 實現±1% S.P. 的高精度
- 採用Au材質之seal,具有極佳密封性
- 各種氣體&流量皆可對應
- 搭載DIGITAL INTERFACE RS485、RS232 &ANALOG通訊
Vaporizer unit/液態氣化器
獨家氣化技術,使液體完全分子化後更均勻的進入chamber,大幅降低chemical凝結於管壁之可能。
- 採用PIEZO閥件
- 可對應常壓、減壓製程
- 可對應最高溫至攝氏300°C
